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美國KLA-Tencor公司是全球最大的測量設備供應商之一
是全球最大的微納米測量設備供應商
是全球最大的半導體測量設備的供應商
是全球最大表面和薄膜設備供應商,年銷售收入數十億美元
美國KLA-Tencor是臺階膜厚儀發明人者和技術領導者.  臺階儀這一術語譯自我們的品牌Alphastep
 
主要功能:膜工藝是現代微納制造技術和研究的主要手段之一,超薄膜是近幾年薄膜工藝的發展方向, 臺階膜厚應力分析儀是專門為薄膜高級表征的設備:可測量各種透明或不透明的薄膜,是薄膜厚膜和工藝研究的必備手段,測量薄膜膜厚,測量薄膜應力,測量薄膜粗糙度輪廓,測量大范圍的平整度,翹曲度, 測量MEMS等各種微納器件的三維結構
應用范圍:廣泛的應用于微電子器件,半導體,電池,高亮度發光二極管的研發以及材料科學領域。通過監控鍍膜膜厚和刻蝕速率的均勻性以及薄膜應力,能節省寶貴的時間和金錢。不均勻的膜層或過大的應力,將導致差的優良率和不合格的終端產品性能。
 


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